詞條
詞條說(shuō)明
Polycold 快速循環(huán)水汽深冷泵 (Fast Cycle Water Vapor Cryopump)的工作原理是依照麥斯納(Meissner)吸收原理。使水汽分子在低溫盤管(Cryocoil)的**低溫表面上凝結(jié),從而達(dá)到捕集水汽的目的。 A?冷凍機(jī)??B?冷媒傳送管???C?凍連接頭??&nbs
真空計(jì):真空計(jì)是真空鍍膜設(shè)備上的重要組成部分,它是檢測(cè)鍍膜機(jī)真空度的重要手段。 真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為**真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì),**真空計(jì)可以直接測(cè)量壓強(qiáng)的高低,相對(duì)真空計(jì)只能間接測(cè)量真空度。 本文重點(diǎn)介紹鍍膜機(jī)器上面常用到的以下幾個(gè)真空計(jì): 點(diǎn)阻真空計(jì)(又叫皮喇尼真空計(jì)):它主要由電熱絲、外殼和支架構(gòu)成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導(dǎo)系數(shù)與壓強(qiáng)成正比的方式工作的。 上面開(kāi)口處與被測(cè)真空系
氮化鈦涂層是自PVD技術(shù)發(fā)明以來(lái),較常見(jiàn)的一種涂層,具有較高的性價(jià)比,也是之前運(yùn)用的較廣泛的一種PVD涂層,它具有較高的薄膜硬度。 用磁控濺射方法沉積的氮化鈦沉積速度慢,表面顆粒小所以表面光滑,而且液滴等表面缺限少,但是表面硬度較低。 用磁控陰極弧的方法沉積的氮化鈦,沉積速度快,但表面顆粒大,所以表面光潔度較差,液滴等表面缺陷也較多,但是可以獲得較高的表面硬度。
滑閥真空泵是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級(jí)泵串聯(lián)組成的真空機(jī)組。通過(guò)真空繼電器或電接點(diǎn)壓力表,來(lái)實(shí)現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動(dòng)啟閉,自動(dòng)過(guò)載保護(hù)。 整套機(jī)組安裝在一個(gè)機(jī)架上,配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便。 滑閥真空泵同旋片泵一樣,也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵,但是滑閥真空泵和2X旋片真空泵相比,耐用高出好幾倍。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。 由于滑閥泵的旋
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