光學微電子行業無塵車間空氣參數要求

時間：2018-09-20

作者：山東星月凈化工程有限公司

詞條
詞條說明
潔凈車間濕度過高會造成哪些問題
關于溫度要求的具體過程這里就不詳細介紹，但作為一般原則，由于潔凈車間越來越多的精密加工，所以溫度波動范圍的要求越來越小。例如，在用于大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為玻璃和掩模材料的硅晶片之間的熱膨脹系數的差異變得越來越小。100微米直徑的硅晶片，溫度升高1度，它引起的線性膨脹為0.24微米，因此必須有±0.1度恒定的溫度，而濕度值一般較低，這是因為人出汗后產品會被污染，特別是害怕鈉的半導
潔凈室級別相符性的評估和備用系數的采用
如果采用配置測試成果和95%置信上限自動處理軟件的粒子計數器，不需人工運算，則上述統計方法和95%置信上限的計算并不怎么費時。否則便需一定時間運算和習慣。側如在進行粒子濃度的實時控制和檢查相當頻繁的情況下就增加了困難。可能會問：計算95%置信上限的目的是什么？回答：空氣凈化工程是為了計及空氣中粒子分布的隨機性。我們可以設想一下，隨機性的特征是什么，以及怎樣以較簡單實用的方式來加以考慮。可用
注意合理進行室內通風換氣
注意合理進行室內通風換氣。主要是通過飛沫、打噴嚏等方式傳播，通風可以將有害氣體甚至病原體通過空氣的流通吹到室外，稀釋室內有害氣體或病菌的含量，間接達到空氣消毒的目的。所以說保持室內空氣的清新是預防的一個重要方法。但是，通風換氣也要注意安全和科學。要注意不宜通風換氣的天氣和條件，如霧霾天氣和沙塵天氣不宜通風換氣，二是城市空氣質量**“優”和“良”的情況下要選擇性的進行通風換氣。充分利用室內陽光進
風淋通道常見故障處理方法
一、電源開關。通常風淋通道有四個地方可以切斷電源： 1、風淋通道外箱體的電源開關； 2、風淋通道內箱體的控制面板； 3、風淋通道兩側外箱體上（此處電源開關可預防緊急情況下切斷電源，有效地提高工作人員的人身安全）。當電源指示燈不通時，不防重新檢查一下以上四個風淋通道電源處。二、風淋通道風機不工作時。當風淋通道不工作時，馬上去檢查一下風淋通道外箱體的緊急開關是否切斷，如確定切斷了，用手輕輕一按，往