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時(shí)間：2017-02-07

作者：東莞科信園防靜電工程有限公司

詞條
詞條說明
除靜電產(chǎn)品的行業(yè)應(yīng)用
除靜電產(chǎn)品在越來越多的行業(yè)中得到廣泛的應(yīng)用。半導(dǎo)體在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)車間，由于塵埃吸附在芯片上，IC尤其是**大規(guī)模集成電路(VLSI)的成品率會(huì)大大下降。 IC生產(chǎn)車間操作人員都穿潔凈工作服，若人體帶靜電，則較易吸附塵埃、污物等，若這些塵埃、污物被帶到操作現(xiàn)場(chǎng)的話，將影響產(chǎn)品質(zhì)量，惡化產(chǎn)品性能、大大降低Ic成品率。如果吸附的灰塵粒子的半徑大于100μm線條寬度約100μm時(shí)，薄膜厚度在50μm下
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