等離子清洗機，光刻膠剝離

時間：2022-04-30作者：煙臺金鷹科技有限公司瀏覽：155

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• 詞條

  詞條說明

• 等離子清洗機設備在集成電路和MEMS行業的應用

  ????在集成電路或MEMS微納米加工前道工序中，晶圓表面會涂上光刻膠，然后光刻，顯影，但光刻膠只是圖形轉化的媒介，當光刻后在光刻膠上形成微納米圖形后，需要進行下一步的生長或刻蝕的工藝，之后需要用某種方法把光刻膠去除。等離子體去膠機可實現此功能。它用射頻或微波方式產生等離子體，同時通入氧氣或其他氣體，等離子體與光刻膠進行反應，形成氣體被真空泵抽走 等離子清

• Plasma Cleaner等離子去膠清洗機在LED封裝制造中的應用

  Plasma Cleaner等離子清洗/去膠機是無任何環境污染的新型清洗方式，是所有清洗方法中最為的剝離式清洗，最大優點在于清洗后無廢液，最大特點是不分處理對象的基材類型均可處理，如金屬、半導體、氧化物及粉體或時顆粒狀材料的等離子表面改性處理，包括：等離子清洗、活化、刻蝕、沉積、聚合、接枝、污染物去除、表面化學改性、聚合物植、表面涂覆等。為所處理的材料表面帶來超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變，表面

• 等離子清洗機增強邦定性

  等離子處理機不但可以進行表面清洗，重要的是可以提高表面活性，等離子體與物體表面進行化學反應能夠產生活性化學集團，應用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面。利用等離子體技術對這些材料進行表面處理，在高速高能等離子體的轟擊下，很大限度地發揮這些材料的結構表面，在材料表面形成活性層，使橡膠、塑料能夠打印、粘合、涂層等操作。

• 等離子清洗機在LED屏幕的涂覆預處理

  等離子清洗機用于電子產品中，LCD/OLED屏幕的涂層處理、PC塑料框架的粘接預處理、外殼和按鈕的表面噴油絲印刷、PCB表面的去膠、去污和清潔、鏡片粘貼前的處理、電線和電纜代碼噴涂前的處理、汽車工業燈罩、工業燈罩、制動片和門密封條的粘貼前的處理；機械行業金屬微無害清洗處理、鏡片涂裝前的處理、各種工業材料的密封前處理、三維物體表面的改性處理等。通過借助等離子清洗機處理材料表面，可以提高材料表面的滲透