高速精密氣浮平臺(tái)及其直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)特性

時(shí)間：2022-05-21作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：156

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái),精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)等

• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 氣浮直線臺(tái)主要的特點(diǎn)有哪些

  在常見(jiàn)的工業(yè)設(shè)備中，經(jīng)常性會(huì)看到一些高精密設(shè)備，其中出現(xiàn)幾率比較高的，就是氣浮直線臺(tái)，但是在使用的過(guò)程中它到底有著什么樣的特點(diǎn)呢？大部分的人可能都不會(huì)特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度在亞微米級(jí)別，因?yàn)闅飧?dǎo)軌在使用過(guò)程中實(shí)現(xiàn)的無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)，具有清潔無(wú)污染，免維護(hù)，運(yùn)動(dòng)精度高的特點(diǎn)。那為什么氣浮直線臺(tái)的直線度和平面度比機(jī)械線軌的精度高？其實(shí)我們可以猜測(cè)到，2種產(chǎn)品的導(dǎo)軌是不同的，機(jī)械

• 氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

  氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測(cè)設(shè)備也會(huì)逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會(huì)用到氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測(cè)，微納加工，測(cè)試測(cè)量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢(shì)。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾

• 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是一種什么樣的設(shè)備

  其實(shí)在科研或制造業(yè)中可以看到一些搭載氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的專業(yè)設(shè)備，這些專業(yè)的設(shè)備在使用的過(guò)程中能夠有效的保證精度性能，相比機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)揮著很大的作用，能保證精度，但是在看到眾多的設(shè)備時(shí)，大部分的人可能都不知道這中間到底有什么樣的優(yōu)勢(shì)，比如可以來(lái)看一下氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是什么回事呢？氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是設(shè)法把轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮起來(lái)，并可以穩(wěn)定的高精度的旋轉(zhuǎn)，這種懸浮是軸承腔內(nèi)導(dǎo)入的空氣壓力來(lái)實(shí)現(xiàn)的，泄壓的縫隙特別小，

• 氣浮平臺(tái)介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺(tái)系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測(cè)量水平及大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國(guó)高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺(tái)系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時(shí)工作臺(tái)的速度、加速度及啟停過(guò)程的穩(wěn)定時(shí)間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。由于精密及精密氣浮平臺(tái)的定位精度和分辨率多