運動控制的概念

時間：2022-09-16作者：上海銳放自控技術有限公司瀏覽：549

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  詞條說明

• 用于半導體加工的**精密XY真空平臺。

  nanomotion用于半導體加工的超精密XY真空平臺。行程超過500mm，編碼器分辨率為0.1nm，定位精度為±2nm。10小時以上定位穩定性達到1nm。

• 掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。

  掃描電子/聚焦離子束顯微鏡（SEM/FIB）-由Nanomotion設計和制造的X/Y/Theta/Z平臺。在清潔、真空環境中工作，具有納米級的定位穩定性。

• Nanomotion AB7 驅動器& SE 電機介紹

  Nanomotion?AB7?驅動器&?SE 電機介紹AB7 驅動器Nanomotion? AB7 驅動器是一個帶外殼的單軸放大器，可支持多達 32 個并行電機元件（4 x SE8 或 HR8）。 每個驅動器都內置一個與電機類型和電機元件數量匹配的差異化電路板。AB7 整合了一系列先前由不同驅動器支持的操作，不僅支持 SE 新系列電機，還兼容 HR

• nanomotion--XCD2 雙軸控制驅動器

  XCD2 雙軸控制驅動器1、推薦應用：?自動對焦/變焦模塊?可平移及傾斜的陀螺穩定云臺?波束控制與穩定?目標采集設備2、產品說明：XCD2多軸控制放大器電路板是一款專為Edge及Edge-4X電機設計的，雙軸OEM控制放大器電路板。該板卡可用作雙軸控制器，支持多種電機配置，每個軸可以控制多個Edge電機或Edge-4X電機。XCD2還支持Nanomotion陀螺儀輸入，穩定雙軸。此外，可以通過II