直流負壓濺射和直流濺射有什么區別

時間：2024-01-30

作者：鄭州科探儀器設備有限公司

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直流負壓濺射和直流濺射有什么區別
直流負壓濺射和直流濺射??在直流濺射中，帶正電的離子被吸引到接地的、帶負電的濺射靶上，從靶材上濺射出原子，然后這些原子在樣品（也稱為襯底）上沉積形成薄膜。通常情況下，濺射靶被接到正，而樣品端（襯底）被接到負或接地。??? ?然而，有些情況下（如反濺射或偏壓濺射），樣品端會被接到正以吸引多余的離子，從而實現清潔襯底表面或形成離子轟擊確保薄膜
晶振片故障現象、原因及解決辦法
探頭故障現象、原因及排除方法1、沉積期間厚度讀數大跳變a.?不良晶片產生???解決方案：換晶片b.?晶片接近其使用壽命??解決方案：換晶片c.?晶片支承座表面有雜物???解決方案：用酒精或細砂皮清洗支承座d.?來自濺射源的頻率干涉???解決方案：&n
真空冷阱表面為什么會有水
1、空氣的液化溫度取決于空氣的組成成分。一般來說，空氣主要由、氧氣和少量其他氣體組成。在標準大氣壓下（約為1個大氣壓，相當于101.325千帕），液態氮的沸點約為-196攝氏度（-321華氏度），液態氧的沸點約為-183攝氏度（-297華氏度）。因此，空氣的液化溫度應該在這兩個溫度之間。請注意，這些數值是在標準條件下給出的，實際情況可能會受到氣壓和空氣成分的變化而有所不同。2、當空氣的溫度降低到的
電感耦合和電容耦合的區別和應用場景
1. 電感耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：電感耦合等離子體是通過高頻磁場與等離子體的相互作用來傳遞能量的。在電感耦合的過程中，高頻電流通過螺線管產生高頻磁場，高頻磁場切割等離子體產生渦旋電流，從而將能量傳遞給等離子體。這種方式的優點是穩定性好，能量傳遞，適用于高密度等離子體的產生，廣泛應用于材料刻蝕、沉積和離子輔助沉積等領域。2. 電容耦合（Capaciti