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詞條說明
真空系統的基本要求是都有哪些?1、在被抽器件或工作室內獲得所需的極限真空和工作真空度。極限真空度是指器件在無漏放氣時所達到的真空度,工作真空度是指在器件進行真空處理時所能維持的真空度。真空處理時往往要放出大量氣體,這時的工作真空度將顯著地**極限真空度。極限真空度和工作真空度各有其重要性,它們從不同側面對器件質量產生影響。例如在用氧化物陰極器件的排氣真空系統中,電10-2較除氣和陰極分解會大量出氣
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
1、XD型旋片式真空泵的真空泵油XD旋片式真空泵一般應使用符合SH0528-92標準規定的XD旋片式真空泵油。環境溫度在10℃~40℃時ISO~VG100粘度等級的XD旋片式真空泵油。環境溫度在0℃~10℃時使用ISO~VG32粘度等級的真空泵油。真空泵運轉時必須保證油位在油窗高度的1/2-4/5處。應經常檢查油位和油的污染情況(建議每周一次)。如油位過低應停XD旋片式真空泵加入合適的真空泵油至油
維護與保養1、潤滑油的規范及換油步驟潤滑油主要有三個作用:潤滑、密封、冷卻。潤滑作用:潤滑油可以在泵蓋、轉子、葉片、泵體之間形成油膜,避免了相互間的直接接觸,減少摩擦。密封作用:潤滑油產生的油膜能對真空泵起到密封作用,提高了真空泵的效率。冷卻作用:潤滑油吸收了大量的圧縮熱,使壓縮過程接近于等溫壓縮,降低了真空泵的功率。另外:潤滑油還能降低高頻壓縮所產生的噪音。?2、日常保養每日或每次運轉
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
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