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真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到較高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此,為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到較佳配置,選擇真空系統時,?應考慮下述各點:確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度,
單級旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級旋片式真空泵適用于密閉系統的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍:100Pa~100000Pa,出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產生。XD型旋片式真空泵工作環境溫度和吸入氣體溫度應在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會產生真空,需換葉片。4
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內偏心地安裝一個轉子,轉子外圓與泵腔內表面相切(二者有很小的間隙),轉子槽內
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