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真空泵的操作1、開機前的檢查檢查油位是否在MAX-MIN之間,潤滑油不可太多,亦或太少,不足時應補充。禁止混用不同牌號的潤滑油,補充潤滑油時,應確定系統內已經沒有壓力時,方可打開加油塞。接上電源線及接地線,測試電壓是否準確,電源是否無誤。?2、試車、開機與停機試車1.關閉進氣口。2.點動電機檢查真空泵的旋轉方向,如旋轉方向不對,則對調三相電源中的任意兩相。開機1.打開進氣口。2.合上電源
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動和不能盤動。2.泵溫太高。指低級排氣閥附近測得的較高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運轉間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內孔間隙,影響泵運轉的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進氣溫度太高,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。設備定期檢修維護須知:泵油隨著泵的運轉惡劣,因而需要通過油視窗查明的污濁程度及粘度情況,并及時替換泵油。替換泵油的周期:
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