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詞條說明
旋片式真空泵常見故障如下:1.泵不轉(zhuǎn)。情況不明不能先開泵,以免加重故障。用手能盤動(dòng)和不能盤動(dòng)。2.泵溫太高。指低級(jí)排氣閥附近測(cè)得的較高油溫過使用說明書值。由于泵溫升高會(huì)使泵油粘度大幅下降,并使泵油的飽和蒸汽壓升高,使泵的極限壓力升高和抽氣效率下降;使橡膠件容易老化;熱膨脹使運(yùn)轉(zhuǎn)間隙縮小,特別是某些非金屬旋片的厚度方向和銅套內(nèi)孔間隙,影響泵運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性。泵溫太高的原因可以是泵溫度太高,進(jìn)氣溫度太高,
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
【眾德真空泵廠家】雙級(jí)旋片式隔膜真空泵出現(xiàn)故障應(yīng)如何維修呢?
1.在進(jìn)行維修之前,準(zhǔn)備好檢測(cè)手段。2.判斷故障,確診故障。判斷準(zhǔn),可省事。確診要驗(yàn)證。3.排除故障,先簡(jiǎn)后繁,先易后難。無須拆卸的不拆。隔膜真空泵機(jī)組以減少由于缺少工具和操作不當(dāng)引起新的損傷,減少變化和跑合運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間。一般的說,拼接式轉(zhuǎn)子是不可拆卸的,否則形位公差就不保,轉(zhuǎn)子就報(bào)廢了。4.有毒有害、有腐蝕性的泵,應(yīng)請(qǐng)用戶**清洗,并告知必要的防護(hù)措施,以**維修人員的健康。5.故障分類把故障分為運(yùn)
真空泵正確使用及保養(yǎng)方法1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時(shí)須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。?2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時(shí)換新油,確保真空泵工作正常。?3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時(shí),建議在工作100小時(shí)左右換真空泵油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長(zhǎng)換油期
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