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詞條說明
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應
移動式負壓真空站結(jié)構(gòu)原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級和雙級兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強
真空泵維護與保養(yǎng):1.泵及其四周環(huán)境應經(jīng)常保持清潔,防止雜物進入泵內(nèi)。?2.泵的運轉(zhuǎn)過程中,油箱內(nèi)的存油量不得**油標中心。?3.不同種類和牌號的真空泵油,不可混合使用。?4.泵在使用中,因系統(tǒng)損壞等特殊事故,進氣口突然暴露大氣時,應盡快停泵,并切斷與系統(tǒng)連接的管道,防止噴油、污染場地。?5.泵由于存放或使用不當,水份或其它揮發(fā)性物質(zhì)進入泵內(nèi)而影響真空時,可
旋片式真空泵使用說明:1、與泵聯(lián)接的管道不宜過長,且不宜小于泵的進氣口徑。2、被抽氣體溫度不得**40℃,否則應把氣體冷至常溫。3、含有較多塵埃的氣體則應加以過濾,有腐蝕性及油起化學反應之氣體則應加氣體吸收及綜合裝置,如含水蒸氣過多,則應加去濕裝置,以防止泵油弄臟,影響其真空性能及泵的使用壽命。4、泵云裝過程中油溫不能**70℃,在正常工作時應聽到“嗒、嗒、嗒”之排氣聲,如有異聲或溫度驟升時應停止
公司名: 上海福豫機械設備有限公司
聯(lián)系人: 黃先生
電 話: 17502155678
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地 址: 上海金山廊下鎮(zhèn)金廊公路41號10幢224室
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