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詞條說明
單級旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)較簡單,使用方便,能從大氣壓力下起動(dòng),可直接排入大氣,偏心質(zhì)量較小,維護(hù)簡便,雙級泵的壓力為6×10-2~1×10-2Pa,一種單級泵可達(dá)4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。?旋片式真空泵是工業(yè)應(yīng)用廣泛的一種機(jī)型,由于進(jìn)口真空泵的價(jià)格高昂,并且進(jìn)口真空泵維修及保養(yǎng)費(fèi)用也貴,廣東大路通引進(jìn)了一系列**的技術(shù)與設(shè)備已生產(chǎn)出費(fèi)用低,真空泵維修費(fèi)用低的國產(chǎn)旋片式
旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。?旋片真空泵的工作原理圖是怎樣的??旋片真空泵的工作原理:?旋片真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片真空泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)
羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)
葉片安裝方法:1、真空泵葉片的安裝。不論是我司生產(chǎn)的真空泵葉片還是進(jìn)口真空泵葉片,在沒有技術(shù)人員指導(dǎo)下,自行安裝時(shí)一定要正確,避免真空泵葉片斷裂或在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中安裝不好導(dǎo)致軸承卡死,造成泵體磨損的真空度不足等情況發(fā)生。2、葉片的區(qū)分。市面上的真空泵葉片材質(zhì)有鋁合金、合金鋼、玻璃纖維樹脂、銻樹脂石墨葉片。其功能都是一樣的,但不同材質(zhì)導(dǎo)致的性能又不一樣。(1)使用金屬材質(zhì)的葉片噪音相對于樹脂葉片和碳片較
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