詞條
詞條說(shuō)明
按性能特點(diǎn)和用途分類(1)低真空泵泵的極限壓力**102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。(2)中真空泵極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。(3)高真空泵極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見的高真
真空泵的概述:XD系列真空泵是一款基本型的真空獲得設(shè)備,為單級(jí)壓縮腔,三片旋片結(jié)構(gòu),采用真空泵油作為工作液。XD系列真空泵主要用干低中真空范圍,用于抽除普通空氣或惰性氣體,也可抽除少量可凝性氣體,如水蒸氣等。泵的工作壓力為泵的極限壓力到大氣壓范圍內(nèi)。XD系列產(chǎn)品因其堅(jiān)固,耐用,可靠,經(jīng)濟(jì)的優(yōu)點(diǎn)已經(jīng)在各行業(yè)領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應(yīng)用。電機(jī)溫度高原因分析(1)電機(jī)功率大,工作電流大,發(fā)熱量大。(2)風(fēng)扇
羅茨泵工作原理羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真
移動(dòng)式負(fù)壓真空站結(jié)構(gòu)原理旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過(guò)高的,對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。旋片式真空泵是真空技術(shù)中較基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片式真空泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種。所謂雙級(jí),就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來(lái)。一般多做成雙級(jí)的,以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓
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