磁控濺射鍍膜設備工作原理

時間：2022-05-21作者：廣東振華科技股份有限公司廣東廣州分公司瀏覽：289

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  詞條說明

• 真空鍍膜設備由哪些部分構(gòu)成

  真空鍍膜機是目前制作真空條件應用較為廣泛的設備，目前生活中使用到的物品都離不開真空鍍膜行業(yè)。但是許多人都不知道真空鍍膜的主要構(gòu)成部分，接下來讓我們一起來認識一下真空鍍膜機的主要構(gòu)成部分。其中有：真空室、真空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入系統(tǒng)、機械傳動部分、加熱及測溫部分、離子蒸發(fā)及濺射源、水冷系統(tǒng)。1、真空室涂層設備主要有連續(xù)涂層生產(chǎn)線及單室涂層機兩種形式，不銹鋼材料制造、氬弧

• 影響磁控濺射中靶中毒的因素有哪些？

  一、靶面金屬化合物的形成由金屬靶面通過反應濺射工藝形成化合物的過程中，化合物是在哪里形成的呢？由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學反應生成化合物原子，通常是放熱反應，反應生成熱必須有傳導出去的途徑，否則該化學反應無法繼續(xù)進行。在真空條件下氣體之間不可能進行熱傳導，所以化學反應必須在一個固體表面進行。反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結(jié)構(gòu)表面進行。在基片表面生成化合物是我們的目的，在其

• 真空鍍膜設備的環(huán)境要求

  ? ? ? ? ? 由于真空鍍膜設備要在真空條件下工作，因此該設備要滿足真空對環(huán)境的要求。我國制減定的各類真空鍍膜設備的行業(yè)標準(包括真空鍍膜設備通用技術(shù)條件、真空離子鍍膜設備、真空濺射鍍膜設備、真空蒸發(fā)鍍膜設備)都對環(huán)境要求作了明確規(guī)定。只有滿足了真空鍍膜設備對環(huán)境的要求，才能使該設備正常運轉(zhuǎn)，加上正確的鍍膜工藝，方能生產(chǎn)出合格的鍍膜產(chǎn)品。真空對

• 真空鍍膜機哪個好

  真空鍍膜機的種類繁多，接下來我們來拿磁控濺射鍍膜機來舉一下例子：該設備集控磁控濺射與離子鍍膜技術(shù)為一體，對提高顏色一致性，沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案。根據(jù)不同的產(chǎn)品需求，可選配加熱系統(tǒng)、偏壓系統(tǒng)、離化系統(tǒng)等裝置，其靶位分布可靈活調(diào)整；膜層均勻性優(yōu)越；配備不同的靶材，可鍍制出心梗較好的復合膜層。設備所鍍的制的膜層具有附著力強，致密性高的優(yōu)點，可有效提高產(chǎn)品的耐鹽霧性，耐磨性及產(chǎn)品表面