高速精密氣浮平臺及其直線電機(jī)驅(qū)動特性

時(shí)間：2022-05-21作者：北京瑞邦精控科技有限公司瀏覽：120

北京瑞邦精控科技有限公司專注于氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮運(yùn)動臺,精密運(yùn)動臺等

• 詞條

  詞條說明

• 氣浮平臺介紹

  高精度和高分辨率的氣浮平臺系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有為重要的地位。它直接影響精密、精密切削加工水平、精密測量水平及大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時(shí)工作臺的速度、加速度及啟停過程的穩(wěn)定時(shí)間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。由于精密及精密氣浮平臺的定位精度和分辨率多

• 氣浮運(yùn)動臺為什么能夠備受大家的認(rèn)可

  氣浮運(yùn)動臺逐漸得到大家的認(rèn)可。如今的制造業(yè)早已進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，傳統(tǒng)的絲桿驅(qū)動結(jié)構(gòu)或直驅(qū)線軌臺影響到了很多檢測設(shè)備的性能。在運(yùn)動控制方面憑借著專業(yè)的經(jīng)驗(yàn)早就已經(jīng)推出很多不一樣的產(chǎn)品，如果仔細(xì)觀察生產(chǎn)現(xiàn)狀，就會發(fā)現(xiàn)有一種氣浮運(yùn)動臺，具有著好的效果，那么它到底有哪一些特點(diǎn)？??? 首先氣浮導(dǎo)軌接近零的摩擦系數(shù)，較高的直線度和平度誤差，而且還擁有著直線電機(jī)驅(qū)動，整體的

• 氣浮直線臺主要的特點(diǎn)有哪些

  在常見的工業(yè)設(shè)備中，經(jīng)常性會看到一些高精密設(shè)備，其中出現(xiàn)幾率比較高的，就是氣浮直線臺，但是在使用的過程中它到底有著什么樣的特點(diǎn)呢？大部分的人可能都不會特別了解，首先我們了解的氣浮直線臺的直線度和平面度在亞微米級別，因?yàn)闅飧?dǎo)軌在使用過程中實(shí)現(xiàn)的無摩擦運(yùn)動，具有清潔無污染，免維護(hù)，運(yùn)動精度高的特點(diǎn)。那為什么氣浮直線臺的直線度和平面度比機(jī)械線軌的精度高？其實(shí)我們可以猜測到，2種產(chǎn)品的導(dǎo)軌是不同的，機(jī)械

• 氣浮運(yùn)動臺主要有哪些優(yōu)點(diǎn)

  氣浮運(yùn)動臺，隨著半導(dǎo)體進(jìn)入到快速發(fā)展的階段，相應(yīng)的加工檢測設(shè)備也會逐漸的提高性能，所以有許多的公司都會用到氣浮運(yùn)動臺，這是一款高精度的設(shè)備，主要作用于半導(dǎo)體加工、檢測，微納加工，測試測量等，但是它到底有哪些主要的優(yōu)勢。1.? ?直線度和平面度高2.? ?定位精度和重復(fù)定位高3.? ?速度穩(wěn)定性高4.? ?偏擺、俯仰、滾