等離子清洗機，等離子去膠機工藝原理及使用

時間：2018-12-24

作者：煙臺金鷹科技有限公司

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詞條
詞條說明
等離子清洗機應用解決方案
等離子清洗機的表面清洗解決方案在真空等離子腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和
等離子清洗機，激活鍵能交聯作用
等離子清洗機的激活鍵能，交聯作用：等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。等離子清洗機實現對材料表面進行激活、蝕刻、除污等工藝處理，以及對材料的摩擦因數、粘合和親水等各種表面性能進行改良的作用。等離子清洗機Plasma Clean
金屬等離子表面處理工藝，等離子清洗機
等離子清洗機是一種中性的、無污染的干式工藝的等離子表面處理設備，省去了濕法化學處理工藝中所不可缺少的烘干，廢水處理等工藝，等離子清洗機既能清洗基體表面，又能對基體材料進行表面改性，改善基材表面能、浸潤性、活化等性能，等離子清洗機利用等離子體中高能粒子和活性粒子，通過轟擊或活化反應作用達到去除金屬表面污物、灰塵和靜電、金屬表面改性、提高金屬表面的附著力、提高金屬表面抗腐蝕能力、提高金屬的硬度和磨損的
等離子清洗機集成電路去膠
等離子體清洗機的表面處理技術是利用等離子體實現常規清洗方法所不能達到的。等離子體是物質的一種狀態，也稱為物質的四態，與一般的固體氣體三態不同。向氣體施加足夠的能量，使其離化，即為等離子態。其“活性”成分包括：離子、電子、原子、活化基、光子等。等離子清洗法是利用這些活性成分對試樣表面進行處理，達到清潔、涂覆等目的。工件表面經化學或物理處理后，可在分子水平上去除污染物，從而提高工件表面活性。在微電子技