顯微鏡系統(tǒng)用于生物發(fā)光成像應用的選型

時間：2023-03-08

作者：深圳維爾克斯光電有限公司

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詞條
詞條說明
線激光元件被用于晶圓檢測
在半導體行業(yè)中，極小的表面缺陷和顆粒是一個主要問題，這會降低產(chǎn)量并耗費生產(chǎn)的時間和成本。因此，檢測半導體晶圓表面的缺陷和污染至關重要，這是在半導體計量行業(yè)許多客戶面臨的挑戰(zhàn)。晶圓表面檢測的快速且具有成本效益的方法之一是使用激光線照明和暗場/明場顯微鏡來檢測缺陷，通常在深紫外（DUV）波長下檢測100nm以下的缺陷。在這種方法中，Holoor指出當線沿徑向掃描時，晶圓旋轉，產(chǎn)生晶圓的大面積采樣，從而
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Xenics推出長波紅外相機Ceres T 1280
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