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潔凈車間,亦稱潔凈室、無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材料和裝置的房間,其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當的微粒潔凈度級別。潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續穩定性,是檢驗潔凈室質量的**標準,該標準根據區域環境、凈化程度等因素,分為若干等
凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP 凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。(一)潔凈室之等級**均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定
十萬級凈化車間之靜壓差無塵車間維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級**地條件之一。即便是負壓無塵車間,它也必須有不**它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓,負壓無塵車間的潔凈度才能得以維持。對于一個十萬級凈化車間來說,以上四個必要條件必須同時得到滿足,才能保證潔凈度達到要求并具備應有的抗污染干擾能力。凈化工程裝修前的準備工作凈化工程設計需要知道一系列的參數,這些
潔凈室中的溫濕度控制潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100&n
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