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    二硼化鋯靶材:高性能材料的關鍵角色 二硼化鋯靶材在高溫、耐磨和耐腐蝕領域具有重要應用價值。它的高熔點、優異的導電性和化學穩定性,使其成為薄膜沉積工藝中的理想材料。 二硼化鋯的晶體結構決定了它的性能優勢。六方晶系使其在高溫下仍能保持穩定,而高硬度則提升了靶材的耐用性。在濺射鍍膜過程中,二硼化鋯靶材能形成均勻、致密的薄膜,廣泛應用于電子元器件、切削工具和防護涂層等領域。 然而,二硼化鋯靶材的制備工藝較

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