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plasma等離子處理TEOS工藝沉積二氧化硅薄膜的光譜研究
二氧化硅薄膜是一種性能優良的介質材料,它具有介電性能穩定,介質損耗小,耐潮性好,溫度系數好等優點,具有較其穩定的化學性和電絕緣性。因此,二氧化硅在集成電路工藝中的應用很廣泛。? ? ? ? 正是由于二氧化硅薄膜在集成電路工藝中應用的廣泛性,所以需要制備具有不同特性的二氧化硅薄膜,這就意味著要不斷研發出各種新型的薄膜沉積技術。近年來,常壓plasma等離子處理
?大氣等離子清洗機設備安裝靈便簡易,可與智能化生產流水線在線運用。利用等離子體內各種高能物質的活(化)影響,去除附著在物體表層的污垢。其基本原理:在氧等離子體中的氧原子自由基、刺激性氧分子、電子和紫外光線的相同影響下,油污分子結構后面被氧化變成水和CO2分子結構,并從物體表層去除。大氣直噴等離子清洗機廣泛應用于玻璃光學、手機制造、印刷、包裝等諸多行業。? ? &nbs
電漿清洗機是1種嶄新的科技創新,使用等離子體高過日常潔凈方式難以高過的功效。等離子體是物質的狀態,也稱為物質的*四狀態。在氣體中施加足夠的能量使其分離成等離子。等離子體的“活性”組分包含:離子、電子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。電漿清洗機使用這種活性成份的類型處理試樣表層,高過清潔等作用。常壓電漿清洗機可選用多種型號的噴嘴,用于不同場合,以滿足各種不同的產品和處理環境;小型化的設備體
生物領域等離子處理機的應用原理分析,即物質的*四態,是由部分喪失電子的原子和電離產生的自由電子組成的離子氣體物質。這種電離氣體由原子、分子、原子團、離子和電子組成。其作用可以實現物體表面的清潔、活化、蝕刻、精整和等離子處理機表面涂層。由于低溫等離體對物體表面的處理強度小于高溫等離子體,可以保護物體表面。我們在應用中使用的大多是低溫等離子體。而且各種粒子在物體處理過程中所表現出的作用也各不相同。&n
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